حفظ کلاس ۱۰۰ به عنوان محیط تمیز
اگر در محیط کلاس ۱۰۰، محفظه خلأ را گرم میکنید، قطعاً میدانید که چقدر این کار دشوار است؛ حتی یک ذره گرد و غبار یا انتشار گازهای سمی میتواند باعث خراب شدن ویفرها یا لایههای نوری شود. این موضوع بسیار ناامیدکننده است. اکثر عناصر گرمایشی استاندارد برای این منظور مناسب نیستند؛ زیرا در همان لحظاتی که نیاز به پایداری آنها وجود دارد، تخریب میشوند یا گازهای سمی را آزاد میکنند.
به همین دلیل، ما از لامپهای مادون قرمز ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم.
راز، در خود کوارتز نهفته است.
ما از سیلیکا فرآوریشده با کمترین میزان ناخالصی استفاده میکنیم. چرا؟ چون وقتی دمای محیط تغییر میکند، نمیخواهیم که ماده مورد استفاده تخریب شود. شیشههای استاندارد در چنین شرایطی ترک میخورند، اما کوارتز در دماهای بالا تقریباً تغییر اندازه نمیدهد.
همچنین، تمام مواد آلی موجود در ساختار لامپ را حذف کردهایم؛ هیچ چسب یا ماده پرکنندهای وجود ندارد. این امر باعث میشود که هنگام رسیدن لامپ به دمای کاری، هیچ دود یا گاز سمیی تولید نشود.
مقابله با شرایط خلأ
مشکل اصلی اینجاست: در شرایط خلأ، سیستم خنککردن تبریدی وجود ندارد؛ بنابراین همه چیز از طریق تابش حرارتی انجام میشود. ما این لامپها را با چگالی توان بالا طراحی کردهایم؛ این امر به شما اجازه میدهد تا دمای مورد نظر را به دست آورید، بدون اینکه دیوارههای محفظه خراب شوند. اما باید در استفاده از منبع تغذیه مراقب باشید؛ ولتاژ باید دقیقاً مطابق با استانداردها باشد. اگر از توان بیش از حدی برای روشن کردن لامپ استفاده کنید، رشته الکتریکی لامپ خراب خواهد شد. از آنجایی که هیچ هوایی برای خارج کردن گرمای اضافی از الکترودها وجود ندارد، گرما در همان جا باقی میماند تا نهایتاً باعث خرابی لامپ شود.
نصب لامپها
برای جلوگیری از اکسیداسیون در نقاط اتصال، از تماسهای طلاکاریشده و درپوشهای با دقت بالا استفاده میکنیم. این اجزا برای جایگزینی ساده لامپهای موجود طراحی شدهاند.
اما یک هشدار مهم: کوارتز از نظر شیمیایی بسیار مقاوم است، اما از نظر فیزیکی، بسیار شکننده است.
واقعاً، هرگز به شیشه لامپ دست نزنید! حتی یک اثر انگشت در حین نصب میتواند منجر به خرابی لامپ شود. از دستکشهای بدون الیاف استفاده کنید و در محیط کنترلشده باقی بمانید؛ در این صورت، بازدهی کار شما بهتر خواهد بود.