http://quartz-emitter.com/fa/tags/%D8%A7%D8%B2%D9%86/ Recent content in ازن on High-Quality Quartz Emitters Hugo fa Mon, 01 Jun 2026 20:37:39 +0800 http://quartz-emitter.com/fa/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 20:37:39 +0800 http://quartz-emitter.com/fa/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://quartz-emitter.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="لامپ مادون قرمز بدون اوزون"></p> <p>در بخش لیتوگرافی، پروفیل فوتورزیست قبل از انجام اکسپوژر تنظیم می‌شود. تغییر نیم درجه‌ای در دمای نرم‌بیک یا هاردبیک، بودجه حرارتی را به هم می‌ریزد و کنترل ابعاد بحرانی را مختل می‌کند. ما لامپ‌های مادون قرمز بدون اوزون خود را برای جلوگیری از این نوسان طراحی کرده‌ایم تا حرارت قابل تکرار را دقیقاً در محل مورد نیاز فرآیند—یعنی روی ویفر—تأمین کنیم.</p> <p><strong>آنچه از نظر فنی اهمیت دارد</strong><br> ما از امیترهای مادون قرمز کوتاه‌موج با اپتیک کوارتز استفاده می‌کنیم، بنابراین گرمایش به صورت دید مستقیم است و پاسخ حرارتی کمتر از یک ثانیه است. خروجی متناسب با جذب فوتورزیست تنظیم شده است، یعنی سطح ویفر سریعاً به نقطه تنظیم می‌رسد در حالی که چاک سرد باقی می‌ماند.<br> یکنواختی دمایی در سطح ویفر در ناحیه بیک، در محدوده ±0.1°C حفظ می‌شود و تکرارپذیری دما از دسته‌ای به دسته دیگر کمتر از ±0.2°C است. سیستم بدون اوزون است، بنابراین نگرانی از بابت اکسیداسیون در اتاق تمیز وجود ندارد و شمار ذرات پایین می‌ماند. دستگاه به‌صورت 24/7 با خروجی پایدار کار می‌کند؛ واحدها تاکنون بیش از 5,000 ساعت با افت شدت کمتر از 5٪ را ثبت کرده‌اند.</p>