Sur le plan de fabrication, la qualité du procédé de cuisson dépend entièrement de l’efficacité du chauffage utilisé. Une déviation de même que demi-degré suffit pour que les dimensions critiques changent – ce qui entraîne des problèmes sérieux. Notre support en céramique assure une stabilité thermique constante, cycle après cycle.
Ce qui est important sous le capot Nous utilisons de la céramique de haute pureté, ce qui permet à sa géométrie et à sa résistance diélectrique de rester stables même à températures élevées. Ce matériau est compatible avec les lampes halogènes et répond rapidement aux besoins des sources à ondes courtes et moyennes. Ainsi, on peut contrôler parfaitement la température pendant les processus de cuisson.
Dans les configurations validées, l’uniformité thermique au niveau de la wafer reste dans une fourchette de ±0,1°C. De plus, la conception évite les pertes thermiques inutiles, ce qui diminue les écarts de température aux bords de la wafer. On obtient ainsi un alignement précis des lampes et un contact électrique fiable. Les valeurs de température restent stables, sans ces micro-fluctuations qui perturbent le processus.
Pourquoi cela fonctionne bien en salle propre Ce support est conçu pour être utilisé dans des environnements de classe 1 à 100. Sa finition permet de réduire au minimum la génération de particules. Une seule particule peut gâcher tout le processus ; c’est donc très important. Le traitement du photo-résistant devient plus fiable, les défauts diminuent, et on n’a plus à lutter contre les inégalités thermiques causées par la cuisson.
La structure en céramique réduit également les besoins en entretien. Nous avons constaté une stabilité de performance sur plus de 5 000 heures de fonctionnement continu, avec une déviation minimale. Les avantages sont donc un temps de fonctionnement accru, moins d’interruptions liées au remplacement des lampes, et une consommation d’énergie prévisible, car le couplage thermique reste constant.
Voici les points à surveiller L’installation dépend du couple mécanique appliqué et du positionnement exact de la lampe. Un couple trop élevé peut endommager la céramique ; un couple insuffisant peut provoquer des arcs électriques et un contact instable. Il faut donc adapter le type de base de la lampe, sa tension et sa puissance aux spécifications du support. Il est également nécessaire de vérifier les espaces autour de la lampe, afin d’éviter toute formation de points chauds.
Le support est conçu pour correspondre aux normes internationales relatives aux équipements de semi-conducteurs. Cependant, il est toujours necessary de vérifier son intégration dans votre équipement et vos procédures de production.