Comment maintenir une salle propres de classe 100 vraiment propre
Si vous chauffez une chambre à vide dans un environnement de classe 100, vous connaissez bien le problème : une seule particule de poussière ou une légère émission de gaz peut détruire vos wafer ou vos revêtements optiques. C’est frustrant. La plupart des éléments chauffants standard ne sont pas conçus pour cela ; ils se désintègrent ou libèrent des composés organiques volatils au moment même où on a besoin qu’ils restent stables.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes infrarouges en quartz synthétique de haute pureté.
Le secret réside dans le quartz.
Nous utilisons du silice fusionnée, avec presque aucune impureté. Pourquoi ? Parce que lorsque la température varie, le matériau ne doit pas se dégrader. Le verre standard se briserait sous une telle pression. Mais ce quartz ne s’élargit presque pas lorsqu’il chauffe. Il reste stable.
De plus, nous avons éliminé tous les liants et adhésifs organiques présents dans l’assemblage. Pas de colle, pas de remplissage. Ainsi, vous n’aurez pas de fumée ou de gaz anormaux lorsque la lampe atteint sa température de fonctionnement en conditions de vide.
Gérer le vide.
Voici la partie difficile : en état de vide, on perd le refroidissement par convection. Il n’y a pas d’air pour transporter la chaleur, donc tout se passe par rayonnement.
Nous concevons ces lampes avec une forte densité de puissance. Cela permet d’atteindre la température souhaitée sans endommager les parois de la chambre. Mais il faut faire attention à l’alimentation électrique. Il faut absolument utiliser la tension appropriée. Si vous surchargez une lampe à haute puissance, le filament sera détruit. Comme il n’y a pas d’air pour éloigner la chaleur des électrodes, celle-ci reste là jusqu’à ce que quelque chose cède.
Installation des lampes.
Pour éviter que les points de connexion ne s’oxydent, nous utilisons des contacts plaqués or et des extrémités précisément usinées. Ils sont conçus pour remplacer facilement vos anciennes lampes.
Une mise en garde toutefois : le quartz est chimiquement résistant, mais physiquement, il est fragile.
Ne touchez surtout pas au verre. Une simple empreinte digitale pendant l’installation crée un point de stress. Vous ne le voyez peut-être pas maintenant, mais une fois que la lampe atteint 1000 °C, c’est là qu’elle va céder. Portez toujours des gants sans peluches et restez dans un environnement contrôlé. Vos résultats vous remercieront.