Remplacement de la lampe RTP Mattson

Sat, 27 Jun 2026 05:11:24 +0800

Sur le plan de fabrication, une valeur de consigne qui varie pendant la phase de cuisson douce ou forte peut nuire gravement au processus de production. Les profils du photorésiste se déforment, le contrôle de la épaisseur de la couche de photorésistant devient difficile, et la sélectivité de l’usinage est compromise. Si la lampe ne fonctionne pas correctement, le budget thermique est déjà perturbé avant même que le processus soit terminé.

Ce qui est important en réalité La lampe Mattson RTP que nous utilisons dispose d’émetteurs halogènes à ondes courtes, placés à l’intérieur d’un enveloppe en quartz. Ce choix est motivé par la rapidité de réponse thermique et par une homogénéité de température parfaite sur toute la surface de la wafer. La stabilité de température atteint ±0,1°C, ce qui permet une cuisson répétable d’une session à l’autre. L’assemblage est conçu pour fonctionner dans des conditions de salle propres de classe 1–100, avec un système de contrôle des particules qui empêche toute contamination et assure ainsi une productivité élevée. On peut compter sur une performance constante sur plus de 5 000 heures, avec une diminution minimale de la luminosité et des intervalles de maintenance prévisibles.

Mattson on High-Quality Quartz Emitters

Remplacement de la lampe RTP Mattson