Lampe infrarouge sans ozone

Mon, 01 Jun 2026 20:37:39 +0800

Sur la ligne de lithographie, le profil du photoresist est défini avant même l’exposition. Un décalage d’un demi-degré lors du soft bake ou du hard bake perturbe le budget thermique, et le contrôle des dimensions critiques est compromis. Nous avons conçu nos lampes infrarouges sans ozone pour stopper ce décalage net, en délivrant une chaleur reproductible exactement là où le procédé en a besoin — directement sur la plaquette.

Ce qui importe, techniquement
Nous utilisons des émetteurs infrarouges à ondes courtes avec optiques en quartz, ce qui signifie que le chauffage est en ligne de vue et la réponse thermique est inférieure à la seconde. Le spectre émis est ajusté pour correspondre à l’absorption du photoresist, ce qui permet à la surface de la plaquette d’atteindre rapidement la consigne tandis que le plateau reste froid.
L’uniformité au niveau de la plaquette se maintient dans une fourchette de ±0,1°C sur la zone de cuisson, et la répétabilité de la température reste inférieure à ±0,2°C d’un lot à l’autre. Le système est exempt d’ozone, ce qui évite tout risque d’oxydation en salle blanche, et le nombre de particules reste bas. Il fonctionne 24h/24 et 7j/7 avec une sortie stable ; les unités ont atteint plus de 5 000 heures de fonctionnement avec une baisse d’intensité inférieure à 5 %.

Ozone on High-Quality Quartz Emitters

Lampe infrarouge sans ozone