http://quartz-emitter.com/he/tags/%D7%9E%D7%90%D7%98%D7%A1%D7%95%D7%9F/ Recent content in מאטסון on High-Quality Quartz Emitters Hugo he Sat, 27 Jun 2026 05:11:25 +0800 http://quartz-emitter.com/he/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Sat, 27 Jun 2026 05:11:25 +0800 http://quartz-emitter.com/he/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://quartz-emitter.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="החלפת למפה RTP של Mattson"></p> <p>בחדר הייצור, שינוי בערך ההגדרה במהלך תהליך האפייה יכול לפגוע באופן חמור בתהליך הייצור. פרופילי הפוטורזיסט משתנים, שליטה בעובי השכבה המיוצרת נפגעת, והיכולת לבחור את האזורים שיעברו תהליך חריטה גם היא נפגעת. אם הנורה אינה עומדת בדרישות, התנאים התרמיים כבר לא תקינים לפני שהתהליך מסתיים.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> הנורות RTP של <a href="https://henruite.com">Mattson</a> שאנו משתמשים בהן מכילות גופי פליטה הלוגניים בגלים קצרים, המונחים בתוך מעטפת קוורץ. גופי הפליטה האלו נבחרו בגלל התגובה התרמית המהירה שלהם והאחידות הגבוהה בטמפרטורה ברחבי הוואפר. הן מאפשרות יציבות של ±0.1°C בנקודת העיבוד, כך שהאנרגיה שמגיעה לפוטורזיסט נשארת אחידה מהפעם האחת לאחרת. המכשיר נוצר עבור סביבות נקיות מסוג Class 1–100, והעיצוב שלו מונע זיהום ומשפר את איכות המוצרים. ניתן לצפות לתפוקה עקבית לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם ירידה מינימלית בעוצמת האור ומרווחי תחזוקה צפויים.</p>