מנורה לייצור מכשירים מיקרופלואידיים

בתהליך הליתוגרפיה, שינוי קל בטמפרטורה של 0.5°C יכול לגרום לשינוי של ננומטרים בקצוות הערוצים המיקרופלואידיים – ושינוי זה עלול לגרום לירידה באיכות...