अपने क्लीन रूम ओवनों में ऊष्मा की बर्बादी बंद करें
यदि आप सेमीकंडक्टर वेफरों को गर्म कर रहे हैं, तो आपको पता होगा कि हर वॉट का महत्व है। समस्या यह है कि सामान्य आईआर हीटरों में ऊर्जा बाहर निकल जाती है; ऐसे में यह ऊर्जा आपकी प्रक्रिया में कोई उपयोग नहीं कर पाती।
हमने एक बेहतर तरीका खोजा। हम सोने से लेपित रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं, ताकि इन्फ्रारेड विकिरण को सीधे वेफर पर ही भेजा जा सके।
सोना क्यों?
यह केवल दिखावे के लिए नहीं है… बल्कि यह इसलिए है क्योंकि सोना लंबी-तरंगदैर्घ्य एवं मध्यम-तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड विकिरणों को परावर्तित करने में एल्यूमीनियम या पॉलिश्ड स्टील की तुलना में बहुत बेहतर है। हम रिफ्लेक्टरों पर पतली परत लगाते हैं, ताकि वे वे फोटॉनों को पकड़ सकें… जो अन्यथा बर्बाद हो जाते।
परिणाम? ऊष्मा अधिक प्रभावी ढंग से वेफर तक पहुँचती है… और आपको अपने पावर सप्लाई को अधिक शक्तिशाली बनाने की आवश्यकता नहीं है।
चुनौतियाँ
जब ऊर्जा को इस तरह केंद्रित किया जाता है, तो ऊष्मा-घनत्व बहुत अधिक हो जाता है… इससे तापमान तो जल्दी ही पहुँच जाता है, लेकिन त्रुटियों की गुंजाइश बहुत कम रह जाती है। यदि रिफ्लेक्टर की स्थिति में थोड़ी भी त्रुटि हो जाए, तो वेफर के किनारे जल सकते हैं।
इसीलिए PID कंट्रोलरों को बिल्कुल सही तरीके से सेट करना आवश्यक है… यदि रिफ्लेक्टर बहुत अधिक प्रभावी हो जाए, तो वेफर के किनारे जल सकते हैं। हम सोने की सतह की वक्रता को ठीक करने में बहुत समय लगाते हैं… ताकि ऊष्मा पूरे वेफर पर समान रूप से वितरित हो सके।
क्लीन रूम में इन हीटरों का उपयोग
ये हीटर वास्तविक दुनिया के लिए ही बनाए गए हैं… हम ऐसी सामग्रियों का उपयोग करते हैं, जो गर्म होने पर भी कोई गैस या कण न छोड़ें।
सबसे अच्छी बात यह है कि सोने के लेप के कारण ऊर्जा अधिक प्रभावी ढंग से उपयोग में आती है… इसलिए आप कम वॉटेज वाले लैंपों का उपयोग करके भी वैसे ही परिणाम प्राप्त कर सकते हैं।
यह आपके HVAC सिस्टम के लिए बहुत बड़ा फायदा है… क्योंकि ऐसे में अतिरिक्त ऊष्मा कमरे में नहीं जाती। बस एक बात ध्यान रखें… अपने वायरिंग की जाँच अवश्य करें… ताकि वह IR आरे की आवश्यक धारा को संभाल सके… ताकि लंबी दूरी पर वोल्टेज में कोई कमी न हो।