Berhentilah menunggu: Mengapa IR lebih unggul daripada metode udara panas konvensional
Saat memilih alat untuk proses pengolahan wafer yang mendalam, Anda sebenarnya sedang memutuskan cara untuk mentransfer energi ke wafer tersebut. Kebanyakan orang memilih metode udara panas konvensional. Itu merupakan standar yang umum digunakan. Namun masalahnya adalah udara hanyalah perantara saja. Anda memanaskan udara, lalu berharap udara tersebut akan memanaskan wafer. Proses ini sangat lambat.
Pemanasan menggunakan sinar inframerah (IR) menghilangkan perantara tersebut. Energi dikirim langsung ke permukaan wafer. Tidak perlu menunggu.
Biaya yang ditimbulkan oleh penundaan waktu
Jika Anda pernah menggunakan sistem pemanasan konvensional, Anda pasti tahu betapa menyebalkannya efek keterlambatan suhu tersebut. Udara tidak mampu menahan panas dengan baik, dan lapisan udara tipis di permukaan wafer berfungsi sebagai pelindung, sehingga memperlambat proses pemanasan. Beberapa detik atau menit yang terbuang mungkin tampak tidak signifikan untuk satu wafer saja. Namun dalam pabrik yang memproduksi banyak wafer, hal ini merupakan masalah besar.
Dengan menggunakan lampu IR, Anda dapat mencapai suhu yang diinginkan secara instan. Waktu yang diperlukan untuk proses pemanasan berkurang dari menit menjadi milidetik. Ini bukan soal “efisiensi” semata, melainkan tentang kemampuan untuk menghasilkan lebih banyak wafer per jam, karena Anda tidak perlu menunggu chamber mencapai suhu yang diinginkan.
Menghemat ruang
Selain itu, penggunaan IR juga memungkinkan Anda menghemat ruang. Anda tidak perlu menggunakan blower besar atau sistem saluran udara yang rumit untuk mengalirkan udara panas.
Yang lebih bagus lagi, sistem IR memungkinkan pemanasan terlokalisasi. Jika ada bagian tertentu pada wafer yang masih dingin, Anda dapat memanaskan bagian tersebut saja, tanpa mempengaruhi bagian lainnya. Ini jauh lebih efektif.
Kekurangan
Namun, IR bukanlah solusi ajaib. Karena proses pemanasannya sangat cepat, maka mudah sekali terjadi kesalahan dalam penentuan suhu, jika kontrol PID-nya tidak dikonfigurasi dengan benar. Anda tidak bisa hanya “menyetelnya dan melupakan semuanya”. Anda membutuhkan sensor yang cepat dan kontroler daya yang mampu menghentikan aliran panas begitu suhu mencapai titik yang diinginkan.
Selain itu, perhatikan juga sistem pendinginan. Jika sistem Anda tidak mampu mengeluarkan panas dari lampu IR, suhu dasar akan naik. Dan tentu saja, gunakan pelindung termal yang tepat. Jika tidak, elektronik Anda bisa rusak.