http://quartz-emitter.com/id/tags/mattson/ Recent content in Mattson on High-Quality Quartz Emitters Hugo id Sat, 27 Jun 2026 05:11:25 +0800 http://quartz-emitter.com/id/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Sat, 27 Jun 2026 05:11:25 +0800 http://quartz-emitter.com/id/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://quartz-emitter.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Penggantian lampu Mattson RTP"></p> <p>Di lantai produksi, perubahan nilai setpoint selama proses Soft Bake atau Hard Bake dapat merusak hasil pengolahan silikon secara diam-diam. Profil fotorezistor menjadi tidak stabil, kontrol ketebalan lapisan fotorezistor menjadi buruk, dan selektivitas proses etching juga terganggu. Jika lampu tidak berfungsi sebagaimana mestinya, kondisi termal pun akan menjadi tidak stabil sebelum proses selesai.</p> <p><strong>Yang penting dalam proses ini</strong><br> Lampu Mattson RTP yang digunakan memiliki emitor halogen berfrekuensi tinggi yang berada di dalam kemasan kuarsa. Pilihan ini dilakukan untuk mendapatkan <a href="https://o-yate.com">respons</a> termal yang cepat serta keseragaman suhu yang tinggi di seluruh permukaan wafer. Lampu ini mampu mempertahankan stabilitas suhu hingga ±0,1°C, sehingga energi yang diberikan kepada fotorezistor tetap konstan dari satu proses ke proses berikutnya. Lampu ini dirancang untuk digunakan di ruang <a href="https://o-yate.net">bersih</a> kelas 1–100, dengan desain yang mampu mengendalikan partikel debu sehingga kontaminasi dapat diminimalkan. Dengan demikian, output lampu akan tetap konsisten selama lebih dari 5.000 jam, dengan penurunan luminansi yang minimal dan interval perawatan yang dapat diprediksi.</p>