Penggantian lampu stepper Nikon

Thu, 25 Jun 2026 05:06:58 +0800

Di area litografi, lampu tersebut bukan sekadar komponen yang dapat diganti begitu saja. Lampu ini berperan sebagai sumber panas yang penting dalam proses pengeringan bahan fotoresist, baik yang bersifat lembut maupun keras. Lampulah yang menentukan profil fotoresist, sehingga mempengaruhi dimensi-dimensi kritis dari chip yang dihasilkan. Jika output lampu tidak stabil, maka keseragaman suhu pun akan terganggu. Akibatnya, jumlah partikel yang terbentuk meningkat, dan kualitas chip pun menurun, bahkan sebelum proses pemeriksaan cacat dimulai.

Yang penting adalah adanya kontrol suhu yang akurat dan konsisten. Lampu pengganti untuk Nikon Stepper yang kami gunakan menggunakan sumber cahaya halogen yang terdapat dalam石英 kristal. Sumber cahaya ini dirancang untuk menghasilkan sinar berfrekuensi pendek dan sedang, sehingga sesuai dengan spesifikasi optik dan termal dari Nikon Stepper. Dengan demikian, suhu di permukaan wafer tetap seragam, yaitu dalam kisaran ±0,1°C. Tidak ada partikel yang terbentuk, dan lampu ini juga cocok digunakan di ruang bersih dengan tingkat kebersihan mulai dari kelas 1 hingga 100. Output lampu tetap stabil, mulai dari saat lampu dinyalakan hingga mencapai kondisi stabil. Lampu ini dirancang untuk beroperasi 24/7 tanpa henti.

Nikon on High-Quality Quartz Emitters

Penggantian lampu stepper Nikon