Mantenere la camera pulita di classe 100 davvero pulita
Se si riscalda una camera a vuoto in un ambiente di classe 100, si conosce bene il problema: basta una piccolissima traccia di polvere o un leggero rilascio di sostanze volatili perché i wafer o gli strati ottici diventino inutilizzabili. È frustrante. La maggior parte degli elementi riscaldanti tradizionali non è adatta per questo scopo: si deteriorano o rilasciano composti organici volatili proprio quando è necessario che rimangano stabili.
Ecco perché preferiamo utilizzare lampade a infrarossi a base di quarzo sintetico ad alta purezza.
Il segreto sta nel quarzo stesso. Utilizziamo silice fusa, priva di quasi ogni impurità. Perché? Perché, quando la temperatura varia, il materiale non deve deteriorarsi. Il vetro normale si romperebbe sotto tali sollecitazioni. Il quarzo, invece, si espande molto poco quando diventa caldo; mantiene quindi le sue proprietà. Inoltre, eliminiamo tutti i leganti e i filler presenti nella struttura della lampada. Niente collanti, niente riempitivi. In questo modo, non avremo problemi legati al rilascio di fumi o sostanze volatili quando la lampada raggiunge la temperatura di funzionamento in condizioni di vuoto.
Gestire il vuoto
La parte più complicata è proprio quella relativa al vuoto: in assenza d’aria, non c’è modo di dissipare il calore attraverso il movimento dell’aria stessa. Tutto avviene quindi per via radiativa. Progettiamo queste lampade con alta densità di potenza, in modo da poter raggiungere la temperatura desiderata senza danneggiare le pareti della camera. Bisogna però prestare attenzione all’alimentazione elettrica: è necessario usare una tensione precisa. Se si somministra troppa energia alla lampada, il filamento si distrugge. Poiché non c’è aria per dissipare il calore prodotto dagli elettrodi, il calore rimane lì fino a quando qualcosa non si rompe.
Installazione delle lampade
Per evitare che i punti di connessione si ossidino, utilizziamo contatti rivestiti di oro e terminali finemente lavorati. Sono progettati per sostituire facilmente le lampade esistenti. Un’avvertenza importante: il quarzo è chimicamente resistente, ma fisicamente è fragile. Non toccate mai il vetro durante l’installazione: anche una singola impronta digitale può creare dei punti di stress. Forse non se ne nota subito, ma una volta che la lampada raggiunge i 1000°C, proprio in quei punti potrebbe verificarsi un guasto. Indossate sempre guanti antipolvere e rimanete nell’ambiente controllato. Il vostro rendimento ne trarrà vantaggio.