http://quartz-emitter.com/ja/tags/%E3%82%AA%E3%82%BE%E3%83%B3/ Recent content in オゾン on High-Quality Quartz Emitters Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 20:37:39 +0800 http://quartz-emitter.com/ja/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 20:37:39 +0800 http://quartz-emitter.com/ja/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://quartz-emitter.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="オゾンフリー赤外線ランプ"></p> <p>リソグラフィ工程では、露光前にフォトレジストのプロファイルが設定されます。ソフトベークまたはハードベーク中の0.5度の温度ドリフトは<a href="https://henruite.com">熱予算</a>を狂わせ、クリティカルディメンションの制御に影響を与えます。当社のオゾンフリー赤外線ランプは、まさにそのドリフトを抑制し、プロセスが必要とする場所、すなわちウェーハ上に正確かつ再現性のある熱を供給します。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong></p> <p>当社は短波長赤外線エミッターと石英光学系を使用しており、加熱は視線方向に限定され、熱応答は1秒未満です。出力はフォトレジストの吸収特性に合わせて調整されているため、ウェーハ表面は迅速に設定温度に達し、チャックは冷却されたままです。ベークゾーン全体でのウェーハレベルの均一性は±0.1℃以内に保持され、バッチ間の温度再現性は±0.2℃以下です。システムはオゾンフリーであるため、クリーンルーム内での酸化リスクがなく、粒子数も低く抑えられます。24時間365日の連続運転が可能で、ランプは5,000時間以上稼働しても出力低下は5%未満です。</p>