http://quartz-emitter.com/ja/tags/%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%83%E3%83%91%E3%83%BC/ Recent content in ステッパー on High-Quality Quartz Emitters Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 05:06:58 +0800 http://quartz-emitter.com/ja/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ Thu, 25 Jun 2026 05:06:58 +0800 http://quartz-emitter.com/ja/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ <p><img src="http://quartz-emitter.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ニコンのステッパーランプの交換"></p> <p>リソグラフィーの工程において、ランプは単なる消耗品以上のものです。それは、各種の焼成処理において熱を安定させるための重要な要素であり、また、ウェーハの寸法を決定するフォトレジストのパターンを形成する上でも不可欠な存在です。ランプの出力が不安定になると、温度の均一性が失われ、露光範囲が狭まります。また、粒子数も増えてしまいます。その結果、欠陥検査が始まる前からウェーハの歩留まりが低下してしまいます。</p>