http://quartz-emitter.com/ja/tags/%E3%83%87%E3%83%90%E3%82%A4%E3%82%B9/ Recent content in デバイス on High-Quality Quartz Emitters Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 04:41:13 +0800 http://quartz-emitter.com/ja/posts/microfluidic-device-fabrication-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 04:41:13 +0800 http://quartz-emitter.com/ja/posts/microfluidic-device-fabrication-lamp/ <p><img src="http://quartz-emitter.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="マイクロ流体デバイス製造用ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程において、わずか0.5℃の温度変動でも、マイクロ流体チャネルの端がナノメートル単位で変位してしまいます。そして、その変位が原因で歩留まりが低下してしまいます。私たちは、このような温度変動を根本的に防ぐために、マイクロ流体デバイス製造用のランプを開発しました。これにより、最初のウェーハから最後のウェーハまで、フォトレジストのパターンが規定値の範囲内に保たれます。</p>