真空 on High-Quality Quartz Emitters

真空チャンバー用赤外線ヒーター

Mon, 20 Jul 2026 11:41:09 +0800

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
もし、クラス100の環境下で真空チャンバーを加熱する場合、その恐ろしさはご存知でしょう。ほんのわずかなほこりや有害なガスがあるだけで、ウェーハや光学コーティングがダメになってしまいます。本当にイライラしますよね。一般的な加熱素子では、安定して動作することができません。安定した状態を維持する必要がある時に、それらの素子は壊れてしまったり、揮発性有機化合物を放出してしまったりします。

真空対応型赤外線ヒーター

Fri, 17 Jul 2026 07:56:44 +0800

悪夢を止める：ヒーターが故障したときでもウェーハを清潔に保つ方法
高負荷の半導体製造プロセスにおいて、ランプが壊れることは単なる煩わしいトラブルではありません。それは大惨事です。もし真空チャンバー内で石英管が破裂すれば、単に部品が破損するだけでなく、ガラスの破片や有害なガスが至る所に飛び散ります。その結果、ウェーハが汚染され、作業全体が台無しになってしまいます。
私たちは、そうした事態を防ぐために、特別に設計された真空赤外線ヒーターを開発しました。