高い on High-Quality Quartz Emitters

UHP 超高純度ヒーターランプ

Sat, 18 Jul 2026 04:31:48 +0800

なぜ半導体製造においてUHP赤外線ランプを採用するのか
正直に言えば、対流式のオーブンはもはや時代遅れに思えてきます。半導体の乾燥や硬化処理の分野では、Ultra High Purity（UHP）赤外線ランプへの移行が進んでいます。
これは単に「無鉛で環境に優しい」という基準を満たすためだけではありません。重要なのは、熱がどのように伝わるかという点です。対流式の場合は、部屋中に熱風を送り込んで乾燥を期待しますが、UHP赤外線ランプは電磁波を利用して直接ウェーハに熱を与えます。
もう、ウェーハを乾燥させるために大量の空気を加熱する必要はありません。

高天井用工場用ラジエーター

Thu, 09 Jul 2026 02:49:27 +0800

熱の本質を理解する：パワーと電圧についてでは、この高い天井のある工場用ラジエーターがどのようにして作られたのかを説明しましょう。これは単なる一般的なヒーターではありません。長距離にわたって効果的に暖かさを供給するために設計された、強力な加熱装置です。 2500W、400Vという仕様を選んだのには理由があります。この仕様により、大量の熱が発生しますが、400Vの電圧のおかげで電流を適切にコントロールできます。そのため、過剰なサイズのケーブルを使って工場全体の配線を改修する必要はありません。また、他の機械が起動したり停止したりしても、この装置の性能は安定しています。ちらつきや出力の低下もありません。常に安定した、信頼性の高い熱供給が得られます。チューブの長さとワット数は完璧に調整されており、必要な場所に正確に熱を送り届けます。エネルギーが無駄になることはありません。広々とした空間では、これが作業エリアを温めるのか、単に空気を温めるだけなのかの違いにつながります。

ウェーハ用高精度加熱IR

Sun, 21 Jun 2026 06:41:49 +0800

ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は単なる温めるだけの作業ではありません。それは、ウェーハごとに歩留まりを決定する重要な要素です。ソフトベイクやハードベイク時の温度が1℃変動するだけで、CD値が変わり、スカムが発生したり、粒子数が悪化したりします。私たちは、このような変動をなくすために、ウェーハ用の赤外線加熱システムを開発しました。

ここが重要なポイントです。私たちは石英製のエミッターウィンドウを備えた短波長の赤外線を使用しており、ループ型の温度測定装置によって、一度に処理されるすべてのウェーハの温度を±0.1℃以内に保ちます。温度は3秒以内に安定するため、高効率なリソグラフィプロセスにも対応できます。制御精度は0.1℃単位で、ウェーハの特性に合わせて複数点で校正が行われます。

高い on High-Quality Quartz Emitters

UHP 超高純度 ヒーターランプ

高天井用工場用ラジエーター

ウェーハ用高精度加熱IR

UHP 超高純度ヒーターランプ