http://quartz-emitter.com/ko/tags/%EB%8B%88%EC%BD%98/ Recent content in 니콘 on High-Quality Quartz Emitters Hugo ko Thu, 25 Jun 2026 05:06:58 +0800 http://quartz-emitter.com/ko/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ Thu, 25 Jun 2026 05:06:58 +0800 http://quartz-emitter.com/ko/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ <p><img src="http://quartz-emitter.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="니콘 스테퍼 램프 교체"></p> <p>리소그래피 공정에서 램프는 단순한 소모품 이상의 역할을 합니다. 램프는 모든 소프트 베이크 및 하드 베이크 공정에서 열을 조절하는 역할을 하며, 포토레지스트의 프로필을 결정하는 중요한 요소입니다. 램프의 출력이 변동하면 열적 균일성이 깨지고, 노출 범위가 줄어들며, 입자 수도 증가합니다. 그 결과, 결함 검사를 시작하기도 전에 웨이퍼의 생산성이 저하됩니다.</p>