http://quartz-emitter.com/ko/tags/%EB%A7%A4%ED%83%80%EC%8A%A8/ Recent content in 매타슨 on High-Quality Quartz Emitters Hugo ko Sat, 27 Jun 2026 05:11:24 +0800 http://quartz-emitter.com/ko/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Sat, 27 Jun 2026 05:11:24 +0800 http://quartz-emitter.com/ko/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://quartz-emitter.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="매트슨 RTP 램프 교체"></p> <p>제조 공정에서, 소프트 베이크나 하드 베이크 중에 설정된 온도가 일정하지 않으면 공정이 제대로 진행되지 않을 수 있습니다. 포토레지스트의 성능이 저하되고, CD 제어도 어려워지며, 에칭 과정에서의 선택성도 떨어집니다. 만약 램프가 제 역할을 하지 못한다면, 공정이 끝나기 전에 이미 열 관리가 제대로 이루어지지 않습니다.</p>