http://quartz-emitter.com/ko/tags/%EC%97%B4%EA%B8%B0/ Recent content in 열기 on High-Quality Quartz Emitters Hugo ko Sun, 21 Jun 2026 06:41:49 +0800 http://quartz-emitter.com/ko/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Sun, 21 Jun 2026 06:41:49 +0800 http://quartz-emitter.com/ko/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://quartz-emitter.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="웨이퍼용 고정밀 열처리"></p> <p>팹에서의 포토레지스트 건조 과정은 단순한 가열 과정이 아닙니다. 이는 웨이퍼 하나하나의 수율을 결정하는 중요한 열 처리 공정입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 시 온도가 1°C만 변동해도 CD 값이 변하고, 이물질이 생기며, 입자 수도 변동합니다. 저희는 이러한 변수들을 제거하기 위해 특별한 IR 가열 시스템을 개발했습니다.</p>