마이크로유체 장치 제작용 램프

리소그래피 공정에서는 0.5°C만큼의 미세한 온도 변화라도 마이크로유체 채널의 가장자리를 나노미터 단위로 이동시킬 수 있습니다. 그러한 변화는 생산 효율 저하로 이어집니다. 저희는 그러한 오차를 원천적으로 방지하기 위해 특수한 조명 장치를 개발했습니다. 이를 통해 첫...