Hentikan menunggu: Mengapa IR lebih baik daripada penggunaan udara panas
Ketika memilih alat untuk proses pemprosesan wafer yang mendalam, anda sebenarnya sedang memutuskan cara untuk menghantar tenaga ke wafer tersebut. Kebanyakan orang memilih penggunaan udara panas sebagai kaedah yang biasa digunakan. Namun masalahnya ialah udara hanyalah pengantara semata-mata. Anda memanaskan udara terlebih dahulu, dan kemudian berharap udara tersebut akan memanaskan wafer. Proses ini sangat lambat.
Pemanasan menggunakan gelombang inframerah pula tidak memerlukan pengantara tersebut. Tenaga dihantar terus ke permukaan wafer. Tiada masa menunggu, tiada halangan.
Kos sebenar menunggu
Jika anda pernah menggunakan sistem konveksi, pasti anda tahu betapa menjengkelkannya kelewatan suhu akibat penggunaan udara panas. Udara tidak mampu mengekalkan haba dengan baik, dan lapisan udara yang tipis di permukaan wafer akan menjadi penghalang yang menyebabkan proses pemprosesan menjadi perlahan. Beberapa saat atau minit yang hilang mungkin tidak kelihatan penting untuk satu wafer sahaja. Namun dalam kilang yang memproses banyak wafer setiap jam, ia merupakan masalah besar.
Dengan penggunaan lampu inframerah, suhu dapat dicapai dengan cepat. Masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer berkurangan dari beberapa minit menjadi beberapa milisaat sahaja. Ini bukan sekadar soal kecekapan, tetapi juga tentang kemampuan untuk menghasilkan lebih banyak wafer setiap jam, kerana tidak perlu menunggu lama.
Kelebihan lain
Selain itu, penggunaan IR juga membolehkan penggunaan ruang yang lebih efisien. Anda tidak perlu menggunakan peniup udara yang besar serta sistem saluran udara yang rumit untuk menghantar udara panas. Yang menarik lagi, sistem IR membolehkan pemanasan secara terpilih. Jika ada kawasan tertentu pada wafer yang masih sejuk, anda boleh memanaskan kawasan tersebut sahaja tanpa mempengaruhi kawasan lain.
Kelemahan
Namun, IR bukanlah penyelesaian yang sempurna. Kerana proses pemanasan yang begitu cepat, mudah untuk melebihi suhu yang diinginkan jika sistem kawalan suhu tidak disetel dengan betul. Anda tidak boleh sekadar “menetapkan suhu dan melupakan segalanya”. Anda memerlukan sensor yang cepat serta sistem kawalan kuasa yang efektif agar haba dapat dikurangkan sebaik sahaja suhu yang diinginkan dicapai.
Selain itu, pastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Jika sistem tersebut tidak mampu menyejukkan haba yang dihasilkan oleh lampu inframerah, suhu asas wafer akan turun. Dan jangan lupa gunakan pelindung termal yang sesuai. Jika tidak, elektronik anda akan rosak akibat haba yang berlebihan.