Gantian on High-Quality Quartz Emitters

Penggantian lampu Mattson RTP

Sat, 27 Jun 2026 05:11:25 +0800

Di bilik pengeluaran, perubahan pada nilai tetapan suhu semasa proses Soft Bake atau Hard Bake boleh merosakkan keseluruhan proses pengeluaran. Profil fotorezyst akan berubah, kawalan ketepatan suhu menjadi tidak stabil, dan daya pilihan untuk proses etching juga terjejas. Jika lampu tersebut tidak berfungsi dengan baik, maka keseimbangan suhu dalam bilik pengeluaran sudah terganggu sebelum proses selesai.

Apa yang penting di sebaliknya
Lampu Mattson RTP yang digunakan mempunyai pengeluarkan cahaya jenis halogen gelombang pendek yang terletak di dalam selubung kuarsa. Penggunaan bahan ini membolehkan tindak balas suhu yang cepat serta keseimbangan suhu yang tepat di seluruh permukaan wafer. Lampu ini mampu mengekalkan ketepatan suhu sekitar ±0.1°C, sehingga tenaga yang diberikan kepada fotorezyst adalah konsisten dari satu proses ke proses yang lain. Reka bentuk lampu ini sesuai untuk bilik bersih kelas 1–100, dengan sistem kawalan zarah yang efektif untuk mengelakkan kontaminasi dan meningkatkan kadar pengeluaran. Anda boleh bergantung pada prestasi lampu ini selama lebih dari 5,000 jam, dengan penurunan cahaya yang minimum dan jadual penyelenggaraan yang dapat diramalkan.

Ganti lampu stepper Nikon

Thu, 25 Jun 2026 05:06:58 +0800

Di bilik litografi, lampu tersebut bukan sekadar bahan yang boleh digunakan secara habis-habisan. Ia merupakan unsur penting untuk proses pembakaran yang dilakukan, dan ia juga menentukan profil fotoresist yang seterusnya akan menentukan dimensi kritis produk tersebut. Apabila keluaran cahaya lampu berubah, keseragaman suhu akan terganggu. Ini seterusnya menyebabkan pengurangan kualiti produk, serta peningkatan jumlah zarah yang terbentuk. Kualiti wafer juga akan menurun sebelum proses pemeriksaan kecacatan pun bermula.

Apa yang penting adalah kawalan suhu yang tepat dan konsisten. Lampu pengganti yang digunakan oleh Nikon direka khas dengan sumber cahaya halogen dalam bentuk kuarsa, yang diset supaya menghasilkan cahaya gelombang pendek dan sederhana. Ini membolehkan suhu pada permukaan wafer kekal stabil dalam lingkungan ±0.1°C. Tidak ada zarah yang terbentuk, dan ia sesuai digunakan di bilik bersih dari kelas 1 hingga 100. Keluaran cahaya tetap stabil dari permulaan hingga ke keadaan stabil. Unit ini direka untuk beroperasi 24/7 tanpa gangguan. Ketepatan bukan sekadar slogan – ia dapat dilihat melalui kawalan ketebalan garisan yang konsisten dan profil fotoresist yang konsisten dari satu batch ke batch yang lain.