http://quartz-emitter.com/ms/tags/mattson/ Recent content in Mattson on High-Quality Quartz Emitters Hugo ms Sat, 27 Jun 2026 05:11:25 +0800 http://quartz-emitter.com/ms/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Sat, 27 Jun 2026 05:11:25 +0800 http://quartz-emitter.com/ms/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://quartz-emitter.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Penggantian lampu Mattson RTP"></p> <p>Di bilik pengeluaran, perubahan pada nilai tetapan suhu semasa proses Soft Bake atau Hard Bake boleh merosakkan keseluruhan proses pengeluaran. Profil fotorezyst akan berubah, kawalan ketepatan suhu menjadi tidak stabil, dan daya pilihan untuk proses etching juga terjejas. Jika lampu tersebut tidak berfungsi dengan baik, maka keseimbangan suhu dalam bilik pengeluaran sudah terganggu sebelum proses selesai.</p> <p><strong>Apa yang penting di sebaliknya</strong><br> Lampu Mattson RTP yang digunakan mempunyai pengeluarkan cahaya jenis halogen gelombang pendek yang terletak di dalam selubung kuarsa. Penggunaan bahan ini membolehkan tindak balas suhu yang cepat serta keseimbangan suhu yang tepat di seluruh permukaan wafer. Lampu ini mampu mengekalkan ketepatan suhu <a href="https://henruite.com">sekitar</a> ±0.1°C, sehingga tenaga yang diberikan kepada fotorezyst adalah <a href="https://o-yate.net">konsisten</a> dari satu proses ke proses yang lain. Reka bentuk lampu ini sesuai untuk bilik bersih kelas 1–100, dengan sistem kawalan zarah yang efektif untuk mengelakkan kontaminasi dan meningkatkan kadar pengeluaran. Anda boleh bergantung pada <a href="https://o-yate.com">prestasi</a> lampu ini selama lebih dari 5,000 jam, dengan penurunan cahaya yang minimum dan jadual penyelenggaraan yang dapat diramalkan.</p>