Zatrzymaj „deszcz szkła”: jak utrzymać czystość płytek przy awarii lamp
W zakładach produkujących półprzewodniki w dużych ilościach awaria lampy to prawdziwy koszmar. Problemem nie jest tylko przerwa w produkcji – problemem jest też bałagan, jaki powstaje w takiej sytuacji. Gdy odpada irygacyjna lampa, kawałki kwarcu i gaz halogenowy spadają prosto na płytki. To natychmiast niszczy całą partię produktów. Musimy potem spędzać godziny na czyszczeniu pomieszczenia, aby móc znów kontynuować produkcję. Mamy dosyć tego stanu rzeczy, dlatego stworzyliśmy lampy, które zapobiegają takim katastrofom.
Konstrukcja przystosowana do intensywnej eksploatacji
Większość lamp psuje się z powodu lokalnych punktów nadmiernego nagrzewania lub naprężeń w miejscach styku elementów konstrukcyjnych, szczególnie gdy temperatura szybko się zmienia. Rozwiązaliśmy ten problem poprzez wzmocnienie obudowy z kwarcu oraz precyzyjne ustawienie żarnika. Celem jest równomierne rozkładanie ciepła po całej powierzchni szkła. Brak dziwnych gradientów temperatur, brak pęknięć, a także znacznie mniej awarii.
Bezpieczeństwo
Aby upewnić się, że żaden kawałek szkła nie dotknie płytek, dodajemy specjalną osłonę – w rzeczywistości chodzi o ochronny ekran z kwarcu. Jeśli wewnętrzna lampa się zepsuje, osłona pochłania wszystkie odłamki. Dzięki temu one pozostają wewnątrz osłony. Korzystamy również z materiałów najwyższej czystości. Dzięki temu, gdy pierwszy raz uruchomimy lampę, na powierzchniach półprzewodników nie pojawią się żadne metalowe resztki.
Kompromis
Dodanie takiej osłony oznacza niewielką stratę efektywności promieniowania. Część energii IR zostaje pochłonięta przez osłonę. Czy to idealny kompromis? Nie. Ale to mała cena, którą trzeba zapłacić, aby uniknąć katastrofalnego zanieczyszczenia, które mogłoby zniszczyć całą produkcję na tydzień. Wtedy wystarczy dostosować ustawienia mocy lub podnieść czas pracy lampy, aby to nadrobić.
Kilka praktycznych rad
Podczas instalacji lamp należy zwracać uwagę na kontrolery PID. Muszą być dostosowane do większej masy cieplnej osłony. Jeśli podczas startu temperatura przekroczy ustalony próg, nadal będzie to powodować nadmierną obciążenie żarnika. Ponadto nie należy oszczędzać na wentylatorach chłodzących lampy. Jeśli lampy pracują non-stop, te elementy mogą się uszkodzić, jeśli nie będą mieć stałego przepływu powietrza.