Na fábrica, o processo de secagem do fotorevestimento não é algo simples – trata-se de um processo térmico que determina a qualidade dos produtos, wafer por wafer. Uma variação de 1°C no tempo de secagem pode afetar o coeficiente de concentração, causar formação de resíduos e aumentar a quantidade de partículas indesejadas. Desenvolvemos nosso sistema de aquecimento por IR para eliminar essas variações.
O que realmente importa é a precisão do controle térmico. Utilizamos radiação infravermelha de onda curta, com uma janela de emissão feita de quartzo. A medição da temperatura é feita em circuito fechado, garantindo uma uniformidade de ±0,1°C em todo o wafer. A temperatura atinge o valor desejado em menos de 3 segundos, permitindo que a produção continue sem interrupções. O controle térmico é preciso até 0,1°C, com calibração múltipla que permite acompanhar as variações de temperatura em cada wafer.
A área de aquecimento está preparada para ambientes de classe 1–100: materiais com baixa emissão de gases, fluxo de ar laminar e zero geração de partículas, tudo verificado por meio de medições em tempo real. A alimentação é de 24 V DC, com blindagem contra interferências eletromagnéticas. A interface é compatível com o padrão SECS/GEM, facilitando a integração com outros equipamentos.
Você precisa de um aquecimento confiável, dia e noite, turno após turno. Nosso aquecedor por IR pode funcionar por mais de 50.000 horas, com variação de desempenho inferior a 5%. Ele suporta operação contínua, sem necessidade de refrigeração forçada. O processo de secagem é preciso, mantendo a concentração estável e reduzindo defeitos. A resposta rápida diminui o tempo de espera entre os wafers, e o ponto de ajuste estável reduz o desperdício e a necessidade de retrabalho. O consumo de energia também é menor, pois o emissor só se ativa quando necessário, e não em modo de espera.
Alguns pontos importantes: a janela de emissão precisa de um plano de manutenção adequado para manter a transmissão de energia estável. A instalação é simples, mas é necessário ter uma fonte de energia dedicada de 24 V e um sistema de terra adequado para garantir a precisão do controle térmico. É preciso também ajustar os parâmetros SECS/GEM do equipamento de acordo com os requisitos do sistema principal. Assim, a repetibilidade será mantida ao longo de diferentes lotes, dias e etapas de produção.