Secagem de waferes MEMS com infravermelho: Por que é melhor do que os fornos tradicionais
Se você deseja construir uma fábrica moderna e eficiente, não pode continuar usando aqueles fornos convencionais. Eles são simplesmente muito lentos. Para secar os waferes dos sensores MEMS, optamos por sistemas de infravermelho de onda curta. O importante é a velocidade e o tempo de resposta – valores essenciais quando sua linha de produção é digitalizada e opera em alta velocidade.
Por que o infravermelho funciona tão bem
O ponto forte do infravermelho é que ele não perde tempo aquecendo o ar ao redor do wafer. Ele atinge diretamente a superfície do wafer. Isso é uma grande vantagem, pois evita que os outros equipamentos superaqueçam. Além disso, como é possível controlar precisamente a potência, o sistema pode ser conectado diretamente ao PLC. Se a espessura do wafer mudar ou se você decidir aumentar a velocidade de produção, basta ajustar a potência em tempo real. Não há necessidade de esperar que o ar se aqueça.
Detalhes sobre o hardware
Construímos esses aquecedores para que possam funcionar nas condições rigorosas de uma sala limpa. Usamos invólucros de quartzo de alta pureza, para que não haja risco de contaminação dos sensores. Também buscamos alta densidade de potência, o que significa que a secagem é feita da maneira mais rápida possível.
Mas existe um aviso importante: preste atenção à fonte de energia. Se a tensão não for compatível com a lâmpada, ela vai queimar muito rapidamente. Além disso, essas lâmpadas ficam extremamente quentes – não apenas no local onde fica o wafer, mas também nas extremidades das lâmpadas. É preciso usar conectores e fios resistentes ao calor; caso contrário, os terminais vão derreter sob carga constante. Não é uma visual agradável.
Vantagens e desvantagens
O infravermelho é rápido – cerca de 60% mais rápido do que o ar quente. Mas ele tem uma desvantagem: é direcional. Se o suporte do wafer estiver ligeiramente fora do centro, haverá áreas frias. É preciso ter cuidado com a geometria do refletor, para que o calor atinja uniformemente toda a superfície do wafer.
Como esses sistemas são de alto desempenho, eles exigem mais manutenção. Não basta simplesmente configurá-los e esquecê-los; é necessário mantê-los limpos, sem resíduos ou gases nocivos. Mas é um preço pequeno a pagar pela velocidade.