Substituição da lâmpada RTP da Mattson

Sat, 27 Jun 2026 05:11:24 +0800

Na linha de produção, uma variação no ponto de ajuste durante o processo de Soft Bake ou Hard Bake pode estragar todo o processo de produção. Os perfis do fotorresistente se alteram, o controle da espessura do filme fotográfico fica comprometido, e a selecionalidade na etapa de gravação também é afetada. Se a lâmpada não funcionar corretamente, o equilíbrio térmico já está comprometido antes mesmo que o processo termine.

O que é importante por trás dos panos A lâmpada Mattson RTP que utilizamos possui emissores de halogênio de onda curta, localizados dentro de um invólucro de quartzo. Essa escolha se deve à rápida resposta térmica e à uniformidade de temperatura em toda a área da placa. A lâmpada mantém uma estabilidade de ±0,1°C no ponto de processo, o que garante que a energia aplicada ao fotorresistente seja constante de uma vez para outra. A montagem da lâmpada é feita para ambientes de classe 1–100, com um design que evita a contaminação e mantém a qualidade do produto. Pode-se esperar um desempenho consistente por mais de 5.000 horas, com mínima perda de luminosidade e intervalos de manutenção previsíveis.

Mattson on High-Quality Quartz Emitters

Substituição da lâmpada RTP da Mattson