http://quartz-emitter.com/pt/tags/oz%C3%B4nio/ Recent content in Ozônio on High-Quality Quartz Emitters Hugo pt Mon, 01 Jun 2026 20:37:39 +0800 http://quartz-emitter.com/pt/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 20:37:39 +0800 http://quartz-emitter.com/pt/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://quartz-emitter.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Lâmpada infravermelha sem ozônio"></p> <p>No piso de litografia, o perfil do fotoresiste é definido antes mesmo da exposição ocorrer. Uma variação de meio grau durante o soft bake ou hard bake compromete o orçamento térmico, e o controle da dimensão crítica se perde junto com isso. Desenvolvemos nossas lâmpadas infravermelhas sem ozônio para eliminar essa variação, fornecendo calor repetível exatamente onde o processo necessita—diretamente na pastilha.</p> <p><strong>O que importa, tecnicamente</strong><br> Utilizamos <a href="https://henruite.com">emissores</a> infravermelhos de onda curta com ópticas de quartzo, de modo que o aquecimento é por linha de visão e a resposta térmica é inferior a um segundo. A emissão é ajustada para coincidir com a absorção do fotoresiste, o que significa que a superfície da pastilha atinge rapidamente o ponto de ajuste enquanto o suporte (chuck) permanece frio.<br> A uniformidade ao nível da pastilha mantém-se dentro de ±0,1°C na zona de bake, e a repetibilidade da temperatura fica abaixo de ±0,2°C de lote para lote. O sistema é livre de ozônio, eliminando preocupações com oxidação na sala limpa, além de manter baixo o número de partículas. Opera 24/7 com saída estável; unidades já alcançaram mais de 5.000 horas com queda de intensidade inferior a 5%.</p>