Как сохранить чистоту в помещениях класса 100
В производстве полупроводников даже единственная пыинка — та, которую невозможно увидеть — может испортить целую партию пластин. Это настоящий кошмар. Поэтому, когда необходимо обеспечить нагрев в помещении класса 100, нельзя использовать обычные нагревательные элементы. Они выделяют газы и пыль.
Поэтому мы используем инфракрасные лампы из высокочистого кварца.
Почему важен кварц
Для этих ламп мы используем синтетический фуссированный кремний. Если использовать более дешевое боросиликатное стекло, возникнет проблема с выделением газов — стекло будет выделять химикаты в чистый воздух. Кварцевая оболочка служит надежным уплотнением, которое сохраняет вольфрамовую нить и галогеновый газ внутри. Самое лучшее — это то, что тепло передается напрямую на поверхность объекта. Нет физического контакта, нет движения воздуха, и пыль не поднимается в воздух.
Проектирование с учетом реальных условий
В таких устройствах всегда мало места, поэтому мы стараемся достичь высокой плотности мощности. Мы хотим, чтобы устройства быстро нагревались. Благодаря использованию коротковолнового инфракрасного излучения тепло попадает прямо на поверхность объекта. Таким образом не тратится время на нагрев воздуха в камере, а значит, системам охлаждения не приходится работать сверхурочно.
Мы также уделяем много внимания уплотнениям проводов. Даже небольшая щель может стать причиной проникновения загрязняющих веществ. Мы используем специальные уплотнители, чтобы щели не появлялись при изменении температуры.
Проблемы
Кварц хорош, но он хрупкий. Он хорошо переносит тепло, но не выдерживает ударов или вибраций. Совет: не затягивайте крепления слишком сильно. Если нет места для расширения трубки при нагревании, она может сломаться. Необходимо оставить небольшую щель.
Еще один момент: из-за высокой интенсивности излучения лампы могут повредить органические покрытия на поверхности пластин, если пластина находится слишком близко. Необходимо тщательно проверять фокусное расстояние в зависимости от мощности лампы, чтобы не повредить поверхность пластины.