Прекратите нагревать корпус устройства: есть более эффективный способ нагрева пластинок
При нагреве пластинок важно, чтобы энергия попадала именно на саму поверхность пластинки. Не нужно, чтобы она расходовалась на нагрев стенок устройства.
Проблема заключается в том, что обычные инфракрасные лампы излучают тепло во все стороны – на 360 градусов. В тесной камере для обработки полупроводников это приводит к серьезным проблемам. Внутренние стенки камеры становятся своего рода «гигантскими губками», которые поглощают тепло. Это приводит к появлению «горячих точек», которые могут повредить оборудование или даже опалить оператора, если тот прикоснется к такой зоне.
Фокусировка тепла
Здесь и пригодится направленное инфракрасное излучение. Вместо того чтобы просто поместить там обычную кварцевую трубку, мы используем специальные отражатели и покрытия. Это похоже на использование фонарика вместо лампочки: мы направляем инфракрасное излучение прямо на пластинку. Таким образом мы избегаем разделения энергии между потолком и стенками камеры. Результат: пластинка достигает нужной температуры, а внешняя часть устройства остается достаточно прохладной для касания.
Идеальное расстояние
Выбор правильного расстояния между лампой и пластинкой – это своего рода искусство. Если лампа расположена слишком близко, на поверхности пластинки возникают «горячие точки». Если же лампа расположена слишком далеко, температура пластинки не будет расти достаточно быстро. Обычно мы подбираем идеальное расстояние, исходя из мощности лампы и желаемой температуры. Нужно, чтобы излучение равномерно распределялось по всей поверхности пластинки.
Недостатки
Это не волшебная палочка. Есть свои недостатки. Поскольку излучение фокусируется, плотность тепла в фокусе очень высока. Если контроллер температуры настроен неправильно, температура может превысить заданный уровень за считаные секунды. Еще один важный момент: необходимо сохранять чистоту отражателей. Даже небольшое количество пыли или химических соединений может нарушить равномерное распределение излучения.