Как сохранить чистоту в помещении класса 100
Если вы нагреваете вакуумную камеру в условиях класса 100, вы уже знаете, какая это проблема: один-единственный крошечный частичка пыли или выделение летучих органических соединений могут разрушить ваши пластины или оптические покрытия. Это очень раздражает. Большинство стандартных нагревательных элементов не подходят для таких условий: они трескаются или выделяют летучие органические соединения именно тогда, когда это совсем не нужно.
Поэтому мы используем инфракрасные лампы на основе высокочистого синтетического кварца.
Секрет заключается в самом кварце. Мы используем силикум с практически нулевым содержанием примесей. Почему? Потому что при изменении температуры материал не должен разрушаться. Обычное стекло треснет под таким давлением. Но кварц почти не расширяется при нагревании. Он просто сохраняет свою форму.
Мы также устранили все органические связующие вещества из конструкции лампы. Никакого клея, никаких наполнителей. Это значит, что при достижении лампой рабочей температуры в вакууме не будет никакого дыма или странных выбросов газов.
Проблемы, связанные с вакуумом
Здесь возникает сложность: в вакууме отсутствует конвективное охлаждение. Нет воздуха, который мог бы переносить тепло, поэтому все происходит за счет излучения.
Мы разрабатываем лампы с высокой плотностью мощности. Это позволяет достичь нужной температуры без повреждения стенок камеры. Но необходимо быть осторожным с источником питания. Нужно точно соблюдать напряжение. Если вы перегрузите лампу, филамент может поломаться. Поскольку нет воздуха, который мог бы уносить избыточное тепло от электродов, тепло остается на месте, пока что-то не сломается.
Установка лампы
Чтобы предотвратить окисление на местах соединения, мы используем контакты, покрытые золотом, а также финишные крышки, изготовленные с высокой точностью. Они предназначены для замены существующих ламп.
Но есть одно предупреждение: кварц химически устойчив, но физически он хрупок. Не трогайте стекло! Один лишь отпечаток пальца во время установки может создать точку напряжения. Возможно, сейчас этого не видно, но когда температура лампы достигнет 1000°C, именно там и произойдет поломка. Носите перчатки без ворсинок и находитесь в контролируемой среде. Так вы сохраните качество продукции.