Инфракрасная лампа без озона

Mon, 01 Jun 2026 20:37:39 +0800

На литографическом этаже профиль фоторезиста задаётся ещё до экспонирования. Смещение температуры на полградуса во время мягкого или жёсткого обжига нарушает тепловой баланс, что приводит к потере контроля над критическим размером. Мы разработали наши инфракрасные лампы без озона, чтобы остановить такое смещение, обеспечивая стабильный нагрев точно там, где это необходимо — непосредственно на подложке.

Что важно с технической точки зрения
Мы используем коротковолновые инфракрасные излучатели с кварцевой оптикой, поэтому нагрев происходит по прямой линии обзора, а тепловая реакция занимает доли секунды. Спектр излучения настроен под поглощение фоторезиста, что позволяет быстро достигать заданной температуры поверхности подложки при сохранении охлаждённого состояния холдера.
Однородность температуры на уровне подложки поддерживается в пределах ±0,1°C по всей зоне обжига, а повторяемость температуры между партиями — менее ±0,2°C. Система не генерирует озон, что исключает риск окисления в чистой зоне и снижает уровень частиц. Лампы работают круглосуточно с устойчивым выходом; ресурс превышает 5 000 часов при снижении интенсивности менее чем на 5%.

Озон on High-Quality Quartz Emitters

Инфракрасная лампа без озона