Лампа для изготовления микрофлюидных устройств

Thu, 18 Jun 2026 04:41:13 +0800

На этапе литографии даже незначительное изменение температуры в 0,5°C может привести к смещению краев микрофлюидных каналов на несколько нанометров. Это, в свою очередь, приводит к снижению качества изделий. Мы разработали специальный светильник для производства микрофлюидных устройств, чтобы предотвратить такое смещение на самом начальном этапе. Благодаря этому профили фоторезиста остаются в заданных пределах от первой до последней пластины.

С технической точки зрения важно следующее: светильник использует галогенные элементы с короткой длиной волны, расположенные за кварцевым стеклом, что обеспечивает быстрое и эффективное нагревание. Замкнутый контур управления позволяет поддерживать однородность температуры на уровне ±0,1°C. Светильник может использоваться в чистых комнатах класса 1–100, поскольку его тепловая система закрыта, что минимизирует образование частиц. Повторяемость результатов работы светильника высока, а профили нагрева фоторезиста сохраняются при переходе от одного оборудования к другому без необходимости повторной настройки. Потребляемая мощность соответствует требованиям процесса, а не его максимальным значениям, что позволяет сохранять оптимальный температурный режим.

Устройство on High-Quality Quartz Emitters

Лампа для изготовления микрофлюидных устройств