ระยะห่างด้านความปลอดภัยสำหรับการให้ความร้อนแก่เวเฟอร์

ระยะห่างด้านความปลอดภัยสำหรับการให้ความร้อนแก่เวเฟอร์

ระยะห่างระหว่างเครื่องทำความร้อนในส่วนที่เป็นระเบียงกับเพดาน

ระยะห่างระหว่างเครื่องทำความร้อนในส่วนที่เป็นระเบียงกับเพดาน