Sınıf 100 temiz oda koşullarını gerçekten temiz tutmak
Yarı iletken üretiminde, gözle bile görülemeyecek küçük bir toz parçası bile tüm wafelerin bozulmasına neden olabilir. Bu gerçekten korkunç bir durum. Bu yüzden Sınıf 100 ortamında ısı sağlamak istediğinizde, sıradan ısıtıcıları kullanamazsınız. Çünkü bu tür ısıtıcılar gaz salar ve partiküller yayılır.
İşte bu yüzden yüksek saflıkta kuvars infrared (IR) lambalarını kullanıyoruz.
Kuvarsın önemi
Bu lambalarda sentetik füzyonlu silika kullanılır. Eğer daha ucuz olan borosilikat camını kullanırsanız, camdan kimyasalların temiz havaya sızması gibi bir sorunla karşılaşırsınız. Kuvars kabuğu ise tungsten filamenti ve halojen gazını içinde tutarak sıkı bir kapama işlevi görür. En iyi yanı ise radyatif ısı üretmesidir; ısı doğrudan hedefe yönlendirilir. Fiziksel temas yoktur, hava akışı olmaz ve toz da ortaya çıkmaz.
Gerçek dünya için tasarım
Bu cihazlarda alan her zaman sınırlıdır, bu yüzden yüksek güç yoğunluğuna odaklanıyoruz. Cihazların hızlı bir şekilde ısınmasını istiyoruz. IR enerjisini kısa dalga boylarında tutarak ısının doğrudan substrata ulaşmasını sağlıyoruz. Böylece odadaki havanın ısınmasıyla ilgili zaman kaybı olmaz ve soğutma sistemlerinin fazla çalışmasına gerek kalmaz.
Ayrıca, bağlantı kablolarının mühürlenmesine de çok dikkat ediyoruz. Küçük bir boşluk bile kirleticilerin girmesi için bir yol olur. Sıcaklık değişikliklerinde mühürün zarar görmemesi için füzyonlu cam kullanıyoruz.
Zorlayıcı noktalar
Kuvars harika bir malzemedir, ancak kırılgandır. Isıya dayanıklıdır, ancak darbelere veya sarsıntılara karşı dayanıklı değildir. Bir ipucu: Montaj braketlerini aşırı sıkmayın. Tüpün ısındıkça genişlemesi için yer bırakmalısınız; aksi takdirde tüp kırılabilir.
Bir diğer önemli nokta ise, bu lambaların çok güçlü olmasıdır. Eğer wafe çok yakından tutulursa, organik kaplamalar yanabilir. Bu yüzden wattaja göre odak mesafesini dikkatlice kontrol etmelisiniz ki yüzeyler yanmasın.