Üretim alanında, fotoğraf direncinin ısıtılması sadece hafif bir ısınma işlemi değildir; bu işlem, her bir wafer için verimi belirleyen önemli bir faktördür. Yumuşak veya sert ısıtma işlemlerinde meydana gelen 1°C’lik değişiklikler, CD değerlerini etkiler, yüzeyde lekelere neden olur ve parçacık sayısını olumsuz yönde değiştirir. Bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için waferlerimizi ısıtmak için özel bir IR ısıtma sistemi kullanıyoruz.
İşte asıl önemli olan noktalar: Kuarz emisyon penceresi kullanarak kısa dalga boyundaki IR ışığı kullanıyoruz. Kapalı döngülü termometri sayesinde waferlerin sıcaklığı ±0,1°C aralığında sabit kalır. Sıcaklık 3 saniye içinde istenen seviyeye ulaşır; böylece yüksek hızlı litografi işlemlerinde bekleme süreleri olmadan işlem yapılabilir. Kontrol hassasiyeti 0,1°C’dür ve çok noktalı kalibrasyon sayesinde waferlerin özellikleri doğru şekilde ölçülebilir.
Isıtma bölgesi, Class 1–100 standartlarına uygun şekilde tasarlanmıştır: Düşük gaz salınımı, laminar hava akışı ve yerinde yapılan ölçümlerle parçacık oluşumu engellenmiştir. Güç kaynağı 24 V DC’dir ve EMI’ye karşı koruma sağlanmıştır. Arayüz ise SECS/GEM standardına uygun olarak tasarlanmıştır.
24/7, vardiya üstüne vardiya boyunca güvenilir bir ısıya ihtiyaç vardır. Bizim IR ısıtıcılarımız, %5’den daha az verim düşüşüyle 50.000 saatten fazla çalışabilir ve zorunlu soğutma işlemi olmadan sürekli olarak kullanılabilir. Yumuşak ve sert ısıtma işlemleri doğru şekilde gerçekleşir; böylece CD değerleri sabit kalır ve kusurlar azalır. Hızlı tepki süresi sayesinde waferler arasındaki bekleme süreleri azalır ve stabil ayar noktaları sayesinde atık ve yeniden işleme ihtiyacı da azalır. Emisörün sadece gerektiğinde ısınması sayesinde enerji tüketimi azalır.
Birkaç pratik not: Emisyon penceresinin bakımı için temiz oda koşullarına uygun bir plan gereklidir; böylece iletim süreci stabil kalır. Kurulum oldukça basittir, ancak sıcaklık kontrolünün doğru olması için özel bir 24 V güç kaynağı ve sağlam topraklama sistemi gereklidir. Aletin SECS/GEM parametrelerini ana cihaza uyumlu hale getirirseniz, farklı partiler, günler ve üretim aşamalarında bile tutarlı sonuçlar elde edersiniz.