Neden kurşunsuz üretim tesislerinde IR ile kurutma yöntemine geçiyoruz?
Çoğu yarı iletken üretim tesisleri artık eski konveksiyon fırınlarını ve çözücülere dayalı kurutma yöntemlerini terk ediyor. Bu, uzun zamandır beklenen bir değişiklik. İnfrakızıl ışınlarla kurutma yöntemi giderek daha çok tercih ediliyor; çünkü bu yöntem hem “yeşil” ve kurşunsuz üretim hedeflerine ulaşmayı sağlıyor, hem de üretim sürecini yavaşlatmıyor.
Fiziksel süreç nasıl işliyor?
Sıcak hava kullanıldığında işlem yavaş ilerler. Önce havayı, ardından odanın duvarlarını ve son olarak da parçayı ısıtmak gerekiyor. İnfrakızıl ışınlar ise farklı çalışır; enerjiyi doğrudan malzemenin içine gönderir. Kurşunsuz lehimleme veya fotoresist kullanıldığında sadece ısı uygulamak yeterli değildir; aksi takdirde wafer bozulabilir. İnfrakızıl ışınlar sayesinde belirli emilim bölgeleri seçilebilir. Bu da adeta cerrahi bir müdahale gibi; ısı tam da gereken yere ulaşırken, çevredeki diğer kısımlar soğuk kalır.
Peki ya enerji maliyetleri?
Geleneksel kurutma yöntemlerinde devasa ısıtıcılar ve vantilatörler 24/7 çalışır ve bu da büyük bir enerji israfı anlamına gelir. İnfrakızıl lambalar ise saniyeler içinde çalışma sıcaklığına ulaşır. Düğmeye bastığınızda hemen hazır hale gelir ve kurutma işlemine başlanabilir. Uzun bekleme süreleri olmadığı için enerji tasarrufu sağlanır. Ayrıca, zorlayıcı hava akımı olmadığı için temiz odalara yabancı maddelerin girmesi riski de ortadan kalkar. Her şey kontrol altındadır.
Ama her şey bu kadar basit değil…
İnfrakızıl ışınlar hızlı olsa da dikkatli olmak gerekir. Yüksek yoğunluklu kısa dalga boylu infrakızıl ışınlar kullanılırsa, üst katman çok hızlı kurur ve alttaki çözücüler orada kalır. Bu da istenmeyen bir durumdur. Isının her yere eşit şekilde yayılması için lamba dizilimi ve konveyör hızının doğru ayarlanması gerekir. Ayrıca, eğer soğutma sistemi waferden yansıyan ısıyı kontrol edecek kadar güçlü değilse, işlem sıcaklığı değişebilir.
Biz IR yöntemini tercih ediyoruz; çünkü hem gezegen için hem de maliyet açısından mantıklı bir seçenek. Bu yöntem zararlı çözücüleri ortadan kaldırır ve elektrik tüketimini azaltır. Bu kadar basit.