Sınıf 100 temiz oda koşullarını korumanın yolu
Eğer Sınıf 100 ortamında bir vakum odasını ısıtıyorsanız, karşılaşacağınız zorlukları zaten biliyorsunuz: Küçücük bir toz parçası bile ya da hafif bir gaz sızıntısı bile, waferlerinizi veya optik kaplamalarınızı mahvedebilir. Bu durum oldukça sinir bozucudur. Çoğu standart ısıtma elemanı bu tür koşullar için uygun değildir; istikrarlı olmaları gereken anda parçalanırlar veya uçucu organik bileşikler salarlar.
İşte bu yüzden biz yüksek saflıkta sentetik kuvars infrared lambalarını kullanıyoruz.
Sır, kuvarstadır. Neredeyse hiç safsızlık içermeyen füzyonla elde edilen silika kullanıyoruz. Neden mi? Çünkü sıcaklıklar sürekli değiştiğinde malzemenin parçalanmaması gerekiyor. Standart camlar bu tür baskılara dayanamaz. Ancak bu kuvars, ısındığında neredeyse hiç genişlemez. Sadece sabit kalır. Ayrıca montaj sırasında tüm organik bağlayıcıları ve yapıştırıcıları ortadan kaldırdık. Ne yapıştırıcı var, ne de dolgu maddesi. Böylece lamba çalışma sıcaklığına ulaştığında herhangi bir gaz çıkışı olmaz.
Vakumla başa çıkmak
Burada zor olan nokta şu: Vakum ortamında konvektif soğutma mümkün değildir. Isının dağılması için hava yoktur; bu yüzden her şey radyasyon yoluyla gerçekleşir. Bu lambaları yüksek güç yoğunluğuyla tasarladık. Böylece hedef sıcaklığa ulaşılabilir ve odanın duvarları zarar görmez. Ancak güç kaynağı konusunda dikkatli olmalısınız. Gerilimi tam olarak ayarlayın. Yüksek güçlü bir tüpü aşırı şekilde kullanırsanız, filamenti yanar. Elektrotlardan gelen atık ısıyı taşıyacak hava olmadığı için ısı orada kalır ve sonunda bir şeyler bozulur.
Montaj işlemi
Bağlantı noktalarında oksidasyonun önlenmesi için altın kaplama kontaklar ve hassas şekilde işlenmiş uç kapaklar kullanıyoruz. Bunlar mevcut lambaların yerine kolayca takılabilir. Ancak bir uyarı: Kuvars kimyasal olarak dayanıklıdır, ancak fiziksel olarak kırılgandır. Lütfen camlara dokunmayın. Montaj sırasında oluşan tek bir parmak izi bile küçük bir stres noktası yaratır. Şimdilik bunu göremeyebilirsiniz, ancak tüp 1000°C’ye ulaştığında orası kırılacaktır. Eldivenlerinizi takın ve kontrol altındaki ortamda kalın. Böylece verimliliğiniz artacaktır.