Кращий спосіб нагрівання напівпровідникового обладнання
Чи помічали ви, що деякі пристрої просто стають дуже гарячими? Це стосується не лише тієї частини пристрою, з якою ви працюєте, а й всього корпусу.
Це проблема стандартних конвективних нагрівачів. Вони намагаються нагріти повітря, але це призводить до нагрівання всього – включаючи стінки пристрою. У чистій кімнаті це справжній кошмар: стінки можуть нагрітися настільки, що це може завдати шкоди людині чи, що ще гірше, порушити теплову стабільність напівпровідникових пластин.
Ми вирішили припинити боротися з повітрям та почати використовувати напрямкові інфрачервоні нагрівачі.
Як це працює
Уявіть собі це скоріше як ліхтарик, а не як звичайний нагрівач. Інфрачервоні лампи випромінюють енергію у прямій лінії. Ця енергія не розсіюється; вона передається лише тоді, коли потрапляє на якусь поверхню.
За допомогою відбивачів та правильного розташування ми можемо спрямувати тепло саме туди, куди потрібно. Об’єкт обробки отримує тепло, а внутрішні стінки пристрою залишаються прохолодними. Більше жодних втрат енергії, більше жодного надмірного нагрівання пристрою.
Проблеми, пов’язані з високою температурою
Ми використовуємо низькочастотні інфрачервоні випромінювачі, оскільки вони забезпечують високу потужність у компактних розмірах. Це дозволяє швидко досягти потрібної температури. Але є одна проблема: оскільки енергія дуже концентрована, її потрібно точно спрямовувати в потрібне місце. Якщо лампа буде навіть трохи зміщена, вона буде нагрівати не об’єкт обробки, а сам корпус пристрою.
Щоб уникнути цього, ми загортаємо лампи в кварцові оболонки. Це запобігає витіканню газів, що дозволяє підтримувати необхідний рівень чистоти. Тільки одна порада: переконайтеся, що потужність живлення відповідає потужності лампи. Інакше лампа може швидко зламатися.
Компроміси
Напрямкове нагрівання дійсно допомагає усунути проблему надмірного нагрівання стінок пристрою, але для цього потрібен чіткий лінійний вид на об’єкт обробки. Якщо у вашому об’єкті є складна геометрія чи глибокі ями, інфрачервоні хвилі не зможуть досягти всіх місць. У такому разі з’являються „холодні зони“. Рішення просте – потрібно правильно розташувати лампи чи використати кілька ламп для охоплення всіх зон.
Як тільки все налаштовано правильно, пристрій залишається прохолодним на дотик, а процес обробки залишається стабільним.