کلاس 100 کے صاف ماحول کو واقعی صاف رکھنا
سیمی کنڈکٹر فیکٹریوں میں، ایک چھوٹا سا گرد کا ذرہ بھی پورے ویفروں کے بیچ کو تباہ کر سکتا ہے؛ یہ واقعی ایک بہت بڑا مسئلہ ہے۔ لہذا، جب کلاس 100 کے ماحول میں حرارت پیدا کرنے کی ضرورت ہوتی ہے، تو عام ہیٹنگ ایلیمنٹس استعمال نہیں کیے جاسکتے، کیوں کہ ایسے ایلیمنٹس سے گیسیں خارج ہوتی ہیں، جس سے گرد و غبار پیدا ہوتا ہے۔
اسی لیے ہم اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز انفراریڈ لیمپس ہی استعمال کرتے ہیں۔
کوارٹز کی اہمیت
ہم ان لیمپوں میں سنتھیٹک فیوژڈ سیلیکا استعمال کرتے ہیں۔ اگر سستے بوروسیلیکیٹ گلاس کا استعمال کیا جائے، تو گلاس سے کیمیکلز خارج ہوں گے، جس سے صاف ہوا میں آلودگی پیدا ہوگی۔
کوارٹز کی تہہ ایک مضبوط بندش کا کام کرتی ہے؛ یہ ٹنگسٹن فلامنٹ اور ہیلوجن گیس کو اندر ہی رکھتی ہے۔ بہترین بات یہ ہے کہ اس سے ریڈی ایٹیو حرارت پیدا ہوتی ہے، جو براہِ راست ہدف پر پڑتی ہے۔ اس طرح کوئی جسمانی رابطہ نہیں ہوتا، ہوا بھی نہیں چلتی، اور گرد و غبار بھی پیدا نہیں ہوتا۔
حقیقی دنیا کے لیے ڈیزائن
ان آلات میں جگہ بہت کم ہوتی ہے، اس لیے ہم اعلیٰ طاقت کی ضرورت ہے۔ ہم چاہتے ہیں کہ یہ آلات جلدی سے گرم ہو جائیں۔
انفراریڈ توانائی کو مختصر ترین لہروں کی شکل میں استعمال کرنے سے، حرارت براہِ راست سبسٹریٹ پر پڑتی ہے۔ اس طرح چیمبر میں موجود ہوا کو گرم کرنے کی ضرورت نہیں رہتی، جس سے کولنگ سسٹم پر بوجھ نہیں پڑتا۔
ہم لیڈ-ان وائرز کی بندش پر بھی بہت توجہ دیتے ہیں؛ چھوٹا سا خلا بھی آلودگی کے لیے کافی ہے۔ ہم فیوژڈ-گلاس کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ بندش مضبوط رہے، اور درجہ حرارت میں تغیرات کی وجہ سے یہ ٹوٹ نہ جائے۔
مشکلات
کوارٹز بہت اچھا ہے، لیکن یہ نازک ہے۔ یہ حرارت کو برداشت کر سکتا ہے، لیکن ٹکرنے یا ہلنے سے ناکارہ ہو جاتا ہے۔
ایک نصیحت: اپنے ماؤنٹنگ بریکٹس کو زیادہ سختی سے نہ باندھیں۔ اگر ٹیوب کے لیے گرم ہونے کے دوران جگہ نہ ہو، تو یہ ٹوٹ جائے گی۔ آپ کو ایک مناسب خلا ضرور رکھنا ہوگا۔
اور ایک اور بات… چوںکہ یہ لیمپ بہت طاقتور ہیں، اس لیے اگر ویفر بہت قریب ہو، تو یہ نامیاتی پرتوں کو نقصان پہنچا سکتے ہیں۔ آپ کو واٹیج کے حساب سے فوکل ڈسٹنس کی جانچ ضرور کرنی ہوگی، تاکہ غلطی سے سطح کو نقصان نہ پہنچے۔