Hãy ngừng lãng phí nhiệt trong các lò nung trong phòng sạch đi!
Nếu bạn đang sử dụng lò nung để làm nóng các tấm wafer bán dẫn, bạn chắc hẳn biết rằng mỗi watt năng lượng đều rất quan trọng. Vấn đề là các bộ sưởi hồng ngoại thông thường có khả năng thất thoát năng lượng rất lớn; năng lượng này bị tỏa ra xung quanh thành lò, và hoàn toàn vô ích đối với quá trình sản xuất của bạn.
Chúng tôi đã tìm ra cách tốt hơn. Chúng tôi sử dụng các tấm phản xạ được phủ bằng vàng để thu hồi ánh sáng hồng ngoại và đưa nó trực tiếp vào vị trí cần thiết – tức là lên bề mặt wafer.
Tại sao lại chọn vàng?
Không phải vì vàng trông sang trọng, mà vì khả năng phản xạ ánh sáng của nó. Vàng có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại tốt hơn nhiều so với nhôm hay thép được đánh bóng. Chúng tôi phủ một lớp mỏng vàng lên bề mặt tấm phản xạ để thu hồi những photon vốn sẽ bị lãng phí.
Kết quả là dòng nhiệt được phân bổ một cách đều đặn hơn. Các tấm wafer sẽ nhanh chóng đạt đến nhiệt độ mong muốn, và bạn không cần phải tăng công suất nguồn điện để đạt được hiệu quả tương tự.
Điểm khó khăn
Vấn đề là khi tập trung năng lượng như vậy, bạn sẽ gặp phải áp suất nhiệt rất cao. Điều này giúp rút ngắn thời gian làm nóng, nhưng cũng khiến việc kiểm soát nhiệt độ trở nên khó khăn hơn. Nếu việc căn chỉnh vị trí bộ sưởi sai vài milimét, bạn sẽ gặp phải những điểm nóng nguy hiểm.
Đó là lý do tại sao các bộ điều khiển PID cần được thiết lập một cách chính xác. Nếu tấm phản xạ quá mạnh, có thể làm hỏng các mép của tấm wafer. Chúng tôi dành nhiều thời gian để điều chỉnh độ cong của bề mặt vàng sao cho nhiệt được phân bổ đều trên toàn bộ bề mặt wafer. Đó là một công việc đòi hỏi sự cân bằng tinh tế.
Sử dụng chúng trong phòng sạch
Những bộ sưởi này được thiết kế để hoạt động trong môi trường thực tế. Chúng tôi sử dụng các vật liệu không tạo ra khí độc hoặc vật chất gây ô nhiễm khi bị nung nóng.
Điều tuyệt vời nhất là nhờ lớp phủ vàng, năng lượng được sử dụng một cách hiệu quả hơn nhiều. Bạn có thể sử dụng các bóng đèn có công suất thấp hơn mà vẫn đạt được kết quả tương tự. Điều này rất tốt cho hệ thống HVAC trong nhà máy của bạn, vì bạn không cần phải xả thêm nhiệt vào phòng nữa. Lưu ý: Hãy kiểm tra kỹ hệ thống dây điện của bạn. Đảm bảo rằng nó có thể chịu đựng được dòng điện cần thiết từ bộ sưởi hồng ngoại, để tránh tình trạng giảm điện áp do dây dẫn quá dài.