Hãy ngừng chờ đợi nữa: Tại sao công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại lại vượt trội hơn phương pháp sưởi ấm bằng khí nóng
Khi lựa chọn thiết bị dùng để xử lý các tấm wafer, bạn thực chất đang quyết định cách truyền năng lượng vào tấm wafer đó. Hầu hết mọi người đều chọn phương pháp sưởi ấm bằng khí nóng – đó là phương pháp tiêu chuẩn. Nhưng vấn đề là khí chỉ đóng vai trò trung gian thôi. Bạn làm nóng khí, rồi hy vọng rằng khí đó sẽ làm nóng tấm wafer. Nhưng quá trình này diễn ra rất chậm.
Công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại loại bỏ hoàn toàn yếu tố trung gian này. Năng lượng được truyền trực tiếp vào tấm wafer, không cần chờ đợi hay tốn thời gian.
Chi phí ẩn khi phải chờ đợi
Nếu bạn từng sử dụng phương pháp sưởi ấm bằng khí nóng, bạn chắc hẳn đã biết rõ những tác động tiêu cực của việc chờ đợi. Khí không thể giữ nhiệt tốt, và lớp khí mỏng phủ trên bề mặt tấm wafer lại đóng vai trò như một lớp “đệm”, làm chậm quá trình sưởi ấm. Những giây hoặc phút chờ đợi có vẻ như không quan trọng khi xử lý từng tấm wafer riêng lẻ. Nhưng trong một nhà máy sản xuất với khối lượng lớn thì đó lại là một thảm họa.
Với công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại, bạn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn ngay lập tức. Thời gian cần thiết để đạt được nhiệt độ mong muốn giảm từ vài phút xuống còn vài miligiây. Đây không phải là vấn đề liên quan đến “hiệu suất” mơ hồ nào cả; đó là việc có thể sản xuất được nhiều tấm wafer hơn mỗi giờ, vì bạn không cần phải chờ đợi cho đến khi buồng sưởi đạt nhiệt độ mong muốn.
Lợi ích khác
Ngoài ra, việc chuyển sang công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại còn giúp bạn tiết kiệm diện tích. Bạn không cần phải sử dụng những máy thổi khí lớn hay hệ thống ống dẫn khí phức tạp nữa. Điều thú vị nữa là công nghệ này cho phép bạn sưởi ấm từng vùng trên tấm wafer một cách chính xác. Nếu một vùng trên tấm wafer còn lạnh, bạn có thể tập trung sưởi ấm chỉ vùng đó mà không ảnh hưởng đến các vùng khác. Đó là cách xử lý hiệu quả hơn nhiều.
Nhược điểm
Tuy nhiên, công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại cũng không phải là giải pháp hoàn hảo. Vì tốc độ sưởi ấm quá nhanh, nếu hệ thống điều khiển nhiệt độ không được thiết lập đúng cách, bạn có thể vượt quá mức nhiệt độ mong muốn. Bạn không thể chỉ “đặt lại và quên mất”. Bạn cần những cảm biến nhanh và bộ điều khiển điện năng có thể ngắt nguồn nhiệt ngay khi đạt được mức nhiệt độ mong muốn. Ngoài ra, bạn cũng cần chú ý đến việc làm mát hệ thống. Nếu hệ thống không thể loại bỏ nhiệt từ vỏ bao lampe, nhiệt độ sẽ tăng lên. Và nhất định phải sử dụng lớp chắn nhiệt phù hợp. Nếu không, bạn sẽ làm hỏng các linh kiện điện tử của mình.