RTP on High-Quality Quartz Emitters

Nhà cung cấp đèn RTP của Alibaba

Sun, 05 Jul 2026 13:05:57 +0800

Nhu cầu về độ chính xác 0,1°C
Trong các nhà máy sản xuất wafer, việc kiểm soát nhiệt độ là điều không thể bỏ qua. Nhiệt độ phải được duy trì ở mức cực kỳ chính xác, chỉ khoảng 0,1°C. Chính vì vậy, chúng tôi đã thiết kế những chiếc đèn RTP của Alibaba để có thể kiểm soát nhiệt độ với độ chính xác cao như vậy. Việc kiểm soát nhiệt độ chính xác như vậy giúp quá trình sản xuất diễn ra thuận lợi hơn, tránh được tình trạng lãng phí nguyên liệu đắt tiền.

Thay thế bóng đèn Mattson RTP

Sat, 27 Jun 2026 05:11:24 +0800

Trong quá trình sản xuất, nếu giá trị điều chỉnh nhiệt độ thay đổi trong giai đoạn Soft Bake hoặc Hard Bake, điều này có thể gây hư hại nghiêm trọng cho quy trình sản xuất. Các thông số liên quan đến lớp phim quang học sẽ bị ảnh hưởng, khả năng kiểm soát độ dày lớp phim cũng bị suy giảm, và khả năng chọn lọc khi etch cũng không còn chính xác nữa. Nếu chiếc đèn không hoạt động tốt, thì mức nhiệt độ trong buồng sẽ không ổn định ngay từ đầu, dẫn đến việc quy trình sản xuất bị gián đoạn.