http://quartz-emitter.com/zh/tags/%E7%83%AD%E9%87%8F/ Recent content in 热量 on High-Quality Quartz Emitters Hugo zh Sun, 21 Jun 2026 06:41:49 +0800 http://quartz-emitter.com/zh/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Sun, 21 Jun 2026 06:41:49 +0800 http://quartz-emitter.com/zh/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://quartz-emitter.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="用于晶圆红外检测的高精度加热系统"></p> <p>在芯片制造过程中，光刻胶的烘烤并非<a href="https://henruite.com">简单</a>的加热过程——实际上，这一过程直接决定了芯片的良率，因为每一块芯片的加工质量都依赖于精确的温度控制。如果烘烤温度发生1°C的波动，就可能导致芯片的尺寸偏差、表面出现瑕疵，还会增加芯片中的杂质含量。因此，我们设计了专门的红外加热系统，以此来消除这些不确定性。</p> <p>我们的系统中使用的是短波红外光源，通过石英窗口进行照射。闭环温度控制系统能够确保每块芯片的加热温度控制在±0.1°C范围内。温度可在3秒内达到稳定状态，这样就可以跟上高速光刻工艺的节奏，无需等待温度稳定下来。温度控制的精度可达0.1°C，且可通过多点校准来确保其准确性。</p>