http://quartz-emitter.com/zh/tags/%E8%87%AD%E6%B0%A7/ Recent content in 臭氧 on High-Quality Quartz Emitters Hugo zh Mon, 01 Jun 2026 20:37:39 +0800 http://quartz-emitter.com/zh/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 20:37:39 +0800 http://quartz-emitter.com/zh/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://quartz-emitter.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="无臭氧红外灯"></p> <p>在光刻车间，光刻胶轮廓<a href="https://henruite.com">在曝光之前</a>就已确定。软烘烤或硬烘烤过程中半度的温度漂移会打乱热预算，导致关键尺寸控制失效。我们设计的无臭氧红外灯能迅速抑制这种漂移，将热量精准地传递到工艺所需的位置——晶圆表面。</p> <p><strong>技术关键点</strong><br> 我们采用石英光学元件的短波红外发射器，实现直视加热，热响应时间低于一秒。输出波长经过调校以匹配光刻胶的吸收特性，这意味着晶圆表面能快速达到设定温度，而卡盘保持低温。</p>