ক্লাস ১০০ ক্লিনরুমকে সত্যিই পরিষ্কার রাখা
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের ক্ষেত্রে, একটি ছোট্ট ধূলিকণাও—যা দেখা যায় না—পুরো ওয়েফারগুলোকে নষ্ট করে দিতে পারে। এটা সত্যিই ভয়ঙ্কর। তাই, ক্লাস ১০০ পরিবেশে তাপ যোগ করার সময় সাধারণ হিটিং এলিমেন্ট ব্যবহার করা যায় না; কারণ এগুলো থেকে গ্যাস নির্গত হয় এবং ধূলিকণাও উৎপন্ন হয়।
এই কারণেই আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ ইনফ্রারেড ল্যাম্প ব্যবহার করি।
কোয়ার্টজের গুরুত্ব
আমরা এই ল্যাম্পগুলোর জন্য সিনথেটিক ফিউজড সিলিকা ব্যবহার করি। যদি সস্তা বোরোসিলিকেট গ্লাস ব্যবহার করা হয়, তাহলে গ্লাস থেকে রাসায়নিক পদার্থ নির্গত হবে; যা ক্লিন এয়ারকে দূষিত করবে।
কোয়ার্টজ এনভেলপ ঠিক একটি “ভালো সিল”-এর মতো কাজ করে; ফলে টাংস্টেন ফিলামেন্ট ও হ্যালোজেন গ্যাস ভিতরেই থেকে যায়। সবচেয়ে ভালো ব্যাপার হলো, এটা রেডিয়েটিভ তাপ উৎপন্ন করে; ফলে তাপ সরাসরি লক্ষ্যবস্তুতে পৌঁছায়। কোনো শারীরিক সংস্পর্শ নেই, বাতাস নেই, আর ধূলিকণাও উৎপন্ন হয় না।
বাস্তব পরিস্থিতির জন্য ডিজাইন
এই ধরনের যন্ত্রগুলোতে জায়গা খুবই সীমিত থাকে; তাই আমরা উচ্চ পাওয়ার ডেনসিটির দিকে মনোযোগ দিই। আমরা চাই যে এগুলো দ্রুত তাপ উৎপন্ন করুক।
ইনফ্রারেড শক্তিকে শর্টওয়েভ ব্যান্ডে রাখার ফলে তাপ সরাসরি সাবস্ট্রেটে পৌঁছায়। এতে চেম্বারের বাতাস গরম হওয়ার জন্য সময় নষ্ট হয় না; ফলে কুলিং সিস্টেমগুলোকে অতিরিক্ত কাজ করতে হয় না।
আমরা লিড-ইন ওয়্যারের সিলিং নিয়েও অনেক মনোযোগ দিই। সামান্য ফাঁকও দূষক পদার্থগুলোর জন্য উপযুক্ত জায়গা হয়ে যায়। তাই আমরা ফিউজড-গ্লাস ব্যবহার করি; যাতে তাপমাত্রা পরিবর্তিত হলেও সিলটি ঠিক থাকে।
কঠিন অংশগুলো
কোয়ার্টজ খুবই ভালো, কিন্তু এটা ভঙ্গুর। এটা তাপ সহ্য করতে পারে, কিন্তু ঝাঁকুনি বা ধাক্কা সহ্য করতে পারে না।
একটি টিপ: মাউন্টিং ব্র্যাকেটগুলোকে খুব শক্ত করে আটকাবেন না। যদি টিউবটি গরম হওয়ার সময় সঠিকভাবে প্রসারিত না হতে পারে, তাহলে এটা ভেঙে যাবে। তাই একটি ছোট্ট ফাঁক রাখা দরকার।
আরেকটি বিষয়: যেহেতু এই ল্যাম্পগুলো খুবই শক্তিশালী, তাই যদি ওয়েফারটি খুব কাছাকাছি থাকে, তাহলে এগুলো অর্গানিক কোটিংগুলোকে নষ্ট করে দিতে পারে। তাই ওয়াটেজ অনুযায়ী ফোকাল দূরত্ব ঠিকভাবে যাচাই করা দরকার।