V prostorách výroby není proces zahřívání fotorezistu jen obyčejným zahříváním – jedná se o proces, který určuje kvalitu výsledného produktu, jeden čip po druhém. Změna teploty o 1 °C během procesu měkkého nebo tvrdého zahřívání způsobuje změny v hodnotách CD, vznikají nežádoucí útvary na povrchu čipu a počet částic se mění v nepříznivém směru. Naši systém na infračervené zahřívání čipů je navržen tak, aby eliminoval tyto variabilitety.
Zde jsou hlavní aspekty, které jsou důležité při provozu tohoto systému:
Používáme krátkovlnné infračervené záření s kvartovým vypínacím oknem. Systém uzavřené smyčky umožňuje udržet rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C po celém povrchu čipu. Teplota se ustálí za méně než 3 sekundy, takže můžete pracovat v rychlém režimu bez nutnosti čekání na dokonalé ohřátí. Řízení probíhá s přesností 0,1 °C, přičemž kalibrace je možná podle profilů určených pro daný čip.
Horká zóna je vhodná pro použití v čistých prostorách třídy 1–100: materiály s nízkou mírou vydechování plynů, kompatibilita s laminárním prouděním vzduchu a absence částic, což je potvrzeno měřením přímo v místě použití. Napájení je 24 V DC s ochranou proti elektromagnetickým rušením. Rozhraní je kompatibilní s standardem SECS/GEM pro integraci do výrobních linek.
Potřebujete teplotu, na kterou můžete spoléhat, shift za shiftem, 24/7.
Náš infračervený ohřívač funguje více než 50 000 hodin s odchylkou výstupní teploty menší než 5 %. Dokáže pracovat nepřetržitě bez potřeby chlazení pomocí ventilovaného vzduchu. Proces měkkého a tvrdého zahřívání probíhá přesně podle plánu, takže hodnoty CD zůstávají stabilní a počet vad se snižuje. Rychlá odezva snižuje dobu mezi jednotlivými čipy, a stabilní hodnota teploty znamená méně odpadu a nutnosti opakování práce. Spotřeba energie klesá, protože emitér se zahřívá pouze tehdy, když je to potřeba, nikoli v režimu čekání.
Několik praktických poznámek:
Vypínací okno emitéru vyžaduje plán údržby vhodný pro použití v čistých prostorách – protokol pro čištění a pravidelné kontroly – aby byla zachována stabilita přenosu signálu. Instalace je jednoduchá, ale je potřeba zajistit speciální napájecí linku 24 V a pevné uzemnění, aby byla zachována přesnost kontrolu teploty. Parametry nástroje SECS/GEM musí být sladěny s parametry vašeho zařízení, abyste dosáhli stejné reprodukovatelnosti v různých sériech, dnech a procesech.