Stoppen Sie den „Glass-Rain“: Halten Sie Ihre Wafer sauber, wenn die Lampen versagen
In einer Anlage mit hohem Produktionsvolumen ist das Versagen einer Lampe ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandzeiten – sondern auch um den damit verbundenen Schmutz. Wenn ein Infrarotstrahler versagt, fallen Quarzkristalle sowie Halogengas direkt auf die Wafer herab. Das führt sofort zum Ruin der gesamten Charge. Man muss dann stundenlang damit verbringen, die Kammer zu reinigen, um wieder zum Normalzustand zurückzukehren. Wir hatten genug davon, also haben wir Lampen entwickelt, die solche Katastrophen verhindern.
Für den Dauerbetrieb konzipiert
Die meisten Strahler versagen aufgrund von Hitzepunkten oder Spannungen am Verschlussbereich – besonders wenn die Temperatur schnell geändert wird. Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir die Quarzhülle verstärkt haben und die Position des Glühfadens genau eingestellt haben. Das Ziel ist einfach: Die Wärme soll gleichmäßig über das Glas verteilt werden. Keine ungewöhnlichen Temperaturunterschiede, keine Spannungsbrüche – und viel weniger Ausfälle.
Der Sicherheitsmechanismus
Um sicherzustellen, dass keine Splitter die Wafer berühren, verwenden wir einen Schutzmantel – im Grunde eine Art Schutzschirm aus Quarz. Wenn die innere Lampe versagt, fängt der Schutzmantel die Splitter auf. Dadurch bleibt alles unter Kontrolle. Wir verwenden außerdem hochreine Materialien. Dadurch entstehen keine störenden metallischen Rückstände auf den Halbleiteroberflächen.
Der faire Kompromiss
Der Nachteil ist, dass durch den Schutzmantel etwas an der Strahlungsleistung verloren geht. Ein Teil der Infrarotenergie wird vom Schutzmantel absorbiert. Ist das ein perfekter Tausch? Nein. Aber es handelt sich dabei um einen kleinen Preis, um eine katastrophale Kontaminierung zu vermeiden – schließlich könnte das die gesamte Produktion für die Woche ruinieren. Man muss lediglich die Leistungs-Einstellungen anpassen oder die Einweichzeit etwas verlängern, um das auszugleichen.
Ein paar Tipps
Achten Sie bei der Verkabelung darauf, dass die PID-Controller richtig eingestellt sind. Sie müssen an die zusätzliche Wärmebelastung durch den Schutzmantel angepasst werden. Falls die Temperatur während des Aufheizvorgangs zu hoch wird, wird dem Glühfaden weiterhin unnötiger Druck ausgeübt. Achten Sie auch darauf, dass die Kühlventilatoren an den Enden der Lampen ordnungsgemäß funktionieren. Bei 24/7-Betrieb können diese Ventilatoren sonst beschädigt werden, wenn kein steter Luftstrom vorhanden ist.